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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ(ケミカルタイプ),到達圧力:1.0×10^3Pa, 排気速度:60L/min(50Hz)・70L/min(60Hz) 吸気管径:ODφ14mm×IDφ9mm(G3/8),AC100V200W単相,